CVD/PECVD系统
石墨稀、碳纳米管材料CVD设备该设备主要用于石墨稀、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。
高真空PECVD设备(六通道)可应用于纳米材料生长,石墨烯生成、金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜等各种薄膜等
1200双温区触摸屏CVD系统KJ-T1200CVD是一种管式炉,配备60mm直径的高纯石英炉管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。
旋转PECVD系统 该系统广泛应用于沉积高质量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管(CNT)、石墨烯材料等。
大口径CVD管式炉包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。
石墨烯CVD生长炉适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、二维材料生长、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
石墨烯生长炉PECVD设备KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等
碳纳米管/纳米线CVD生长炉这种碳纳米管/薄膜CVD设备可以实现连续和不间断生长。
立式流化床CVD这款立式流化床CVD系统,专门针对粉末表面沉积的CVD实验。






温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸

