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1200双温区触摸屏CVD系统

1200双温区触摸屏CVD系统

型号:KJ-T1200

简介:KJ-T1200CVD是一种管式炉,配备60mm直径的高纯石英炉管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。

产品简介

KJ-T1200CVD是一种管式炉,配备60mm直径的高纯石英炉管、真空泵和四通道质量流量计+一个浮子流量计气体流动系统。它可以混合1-4种气体用于CVD或扩散。

性能特点

  • PID智能温控
  • 高纯石英炉管
  • 双层壳体上开启结构

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

炉管采用高纯石英材质,耐高温耐酸碱腐蚀,高透明材质,便于观察反应情况

双层壳体上开启结构,取放炉管方便,装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

技术参数

技术参数

型号 KJ-T1200
管式炉  显示 LED
温度 1200℃
工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议:0~10℃/min
温区 300mm + 300mm 双区
(其他尺寸可根据客户需求定制)
加热元件 电阻丝
热电偶 N型
温度控制精度 ±1℃ 
管尺寸 60(外径) / 52mm(内径)x 1000mm (长度)
(其他尺寸可根据客户需求定制)
材质:石英管 
温度控制 通过可控硅功率控制进行PID自动控制
加热曲线 30 步可编程
真空法兰 不锈钢真空法兰。
法兰的一端有 2 个针阀,装有机械压力表。
 
法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口 
真空泵 旋片真空泵 极限真空 10 -3  Torr。
管内的真空度约为 10 -1  Torr。
(RM温度和空管条件)
流量:2.6 L / S
 (泵照片仅供参考,实际外观取决于最终设计)
包括数字真空计

 



带液晶触摸屏控制器的定制质量流量计

 



 
一个浮子流量计 + 四个精密质量流量计:
MFC 精度为:±1.5% FS
MFC 1 用于氮气:气体流量范围为 0~100 sccm
氢气 MFC 2:气体流量范围为 0~100 sccm
MFC 3 用于甲烷:气体流量范围 0~100 sccm
氩气 MFC 4: 气体流量范围 0~100 sccm
氧气 MFC 5: 气体流量范围 0~100 sccm
 FFC 1 氩气和氮气混合气体: 气体流量范围 0~100sccm

配置功能可选

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