产品简介

KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制备机是由KJ-T1200开启式滑轨管式炉、真空系统、质量流量计气路系统、等离子电源系统组成。可适用于石墨烯生长等

性能特点

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

真空系统由旋片真空泵和数显真空计组成，最高真空可达10Pa

产品名称	石墨烯生长炉PECVD设备
开启式滑轨管式炉部分
产品型号	KJ-T1200-S60LC-H2
炉管尺寸	直径60mm*长度1600mm（其他尺寸可根据客户需求定制）
加热区长度	300mm（其他尺寸可根据客户需求定制）
工作温度	≤1100℃
最高温度	1200℃
温控方式	N型热电偶
控制方式	温度控制系统采用触屏操作，人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制 30 段升降温程序；
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	建议≤10℃/min
加热元件	含钼电阻丝
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
炉体结构	滑轨结构，可以实现快速降温
炉管	石英炉管
真空系统部分
名称	真空系统
主要参数	采用旋片真空泵和数显真空计组成，真空度可达10Pa
名称	四路质量流量计
主要参数	四通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示。进出气口：4进1出
等离子电源部分
名称	500W等离子电源
功率范围	0-500W（连续可调）
工作频率	13.56MHZ+0.005%
冷却方式	风冷
售后服务	整机质保一年，终身保修（加热元件、密封圈等随机赠送配件不属于质保范围）