产品简介

这款立式流化床CVD系统，专门针对粉末表面沉积的CVD实验。

性能特点

双层壳体立式可开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

控温系统采用PID方式调节，多段"时间—温度曲线"任意可设，可编程30步

不锈钢金属法兰，带阀门和相关接口，拆装方便，可抽真空，同时连接2种气源至微正压

立式流化床CVD
产品型号	KJ-1200T-V50
加热区长度	400mm（其他尺寸可按客户需求定制）
炉管尺寸	直径50*900mm（其他尺寸可按客户需求定制）
炉管材质	高纯石英管内置0.2mm石英多孔板（订制）
工作温度	≦1100℃
最高温度	1200℃
测温元件	N型热电偶测温
温控系统	智能化30段PID微电脑可编程自动控制并有自动整定功能
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-10℃/min
加热元件	合金电阻丝
炉膛材料	采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡
法兰	不锈钢真空法兰，拆卸方便
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好
流化区域	1.反应气体均匀地通过反应区 2.固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内 3.炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量
壳体结构	双层壳体结构带风冷系统，开启式
炉体结构	立式结构
测量与控制装置
名称	二路质量流量计
流量控制	数字显示，每路气体含有针阀单独控制
链接方式	双卡套接头
流量计	质量流量计
混气	内含一个精密混气罐