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18137195607
性能特点
- 滑轨式设计 可快速降温
- 高纯石英炉管
- 双层壳体加装风冷系统
炉底滑轨式设计，可以左右移动炉子，使炉管暴露在室温环境下实现快速降温
炉管采用高纯石英材质，耐高温耐酸碱腐蚀，热稳定性好
上开启结构炉门，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内
技术参数
技术参数
| 产品名称 | 石墨烯CVD生长炉 | |
| 型号 | KJ-1200-S60K1-3Z | |
| 滑轨管式炉 | 炉体结构 | 滑轨式 |
| 最高工作温度 | 1200℃ | |
| 持续工作温度 | ≤1100℃ | |
| 加热速率 | 建议≤10℃/min | |
| 加热区长度 | 300mm 单温区 （其他尺寸可按客户需求定制） | |
| 加热元件 | 含钼电阻丝 | |
| 热电偶 | N型 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 炉管直径 | Φ50，Φ60，Φ80都可用 （其他尺寸可按客户需求定制） | |
| 炉管材质 | 高纯石英管 | |
| 温度控制器 | PID智能程序控温 | |
| 真空法兰 | 真空法兰采用304不锈钢制作 左端法兰上安装由不锈钢针阀和一个球阀。右端法兰设计为KF25接口，配有挡板阀和两个KF25卡箍 注：法兰可选结构，标准螺丝法兰，快接KF法兰，铰链法兰 |
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| 真空泵系统 | 旋片真空泵带数字真空计 （包含KF25接口和可移动箱体） |
极限真空度 10-3 Torr. 炉管内真空度 10-2 Torr. 备注：用户可根据真空度要求不同可选用旋片真泵、扩散泵组，分子泵组 |
质量流量计 |
3路高精度质量流量计: 底部安装有一个混气罐，左侧安装有3个不锈钢针阀，可手动控制3种气体的流量。 |
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| 注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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| 售后服务 | 质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） | |
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
