产品简介

适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、二维材料生长、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

性能特点

三温区独立控温加热
智能PID多段程序控温
超温保护和报警

采用三温区控制加热，每个温区独立控温

智能PID多段程序控温，移相触发、可控硅控制，多段"时间—温度曲线"可设

有超温保护和报警，及过热和热电偶断裂保护功能

技术参数

产品名称	实验型流化床管式炉
产品型号	KJ-TCVD1200-L80LB3
炉膛模式	开启式
显示模式	LED
炉膛材料	氧化铝纤维
加热元件	优质合金加热丝
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃ 如炉内使用金属罐请根据实际情况下调温度
升温速率	≤10℃/min
加热温区	三温区（温区间不要隔断），每温区独立控温
温区长度	900mm (可根据客户需求定制)
炉管材质	高纯石英管
密封方式	不锈钢真空法兰一套含密封圈，法兰配备机械压力表，预留进气口、出气口。顶部为快接法兰并配有管内测温热偶孔底部法兰可放置在电子称上对炉管、法兰及管内物料称重配电子压差计可测得顶、底法兰间压力值，压力差范围±10Kpa 法兰底部和顶部出气口加装测温热偶和显示仪表
控制模式	智能PID多段程序控温
温度曲线	多段"时间—温度曲线"可设
报警	有超温和断偶报警
测温元件	N型热电偶
气体预热装置	流化床管式炉右侧下方加装气体预热装置，可将气体加热后直接通入流化床炉里
极限温度	1000℃
工作温度	900℃及以下出气口配金属管连接，并配软管
浮子流量计	进气端加装2路流量计，气体为氮气、二氧化碳可根据实验工艺，手动调整进气量
特殊要求	另配一个310S材质的密封金属罐，尺寸约为外径60内径50420mm(具体尺寸需配合直通石英管内部尺寸) 金属罐顶盖有1个进气管含阀门、1个出气管含阀门、1个管内测温热偶孔配可以把金属罐从底部法兰处抬高到恒温区的装置