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产品简介

1200℃迷你型真空气氛管式炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，应用于高、中、低温CVD工艺，如碳纳米管的研制，晶体硅基板镀膜，金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。

性能特点

产品展示

技术参数

技术参数

该款实验室迷你管式炉可根据客户需求定制，如炉管尺寸，炉管材质，温区数量等。

下图为触屏版迷你管式炉（金属炉管）和单温区迷你管式炉（刚玉炉管）

标准配件：

石英炉管×1	真空法兰×1	o型胶圈×2
高温手套×1	坩埚钩×1	热电偶×1
内六角扳手x1	炉塞×2	中文说明书×1

注：坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件：

液晶触摸控制仪

 1．实现电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
 2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
 3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
 4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
 5．具备多组历史数据记录功能。
 6．具备同时显示多段温度及时间功能。

多路质子流量计

 1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
 2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
 3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
 4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
 5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。 。

耐高温真空泵

 该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计，大幅度降低泵的表面温升；采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油，更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封，确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计，零部件少，重复性好，外形紧凑，便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油，即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计，有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染；该产品还设计有两档气镇，可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。