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立式流化床管式炉

立式流化床管式炉

型号:KJ-V1200-L2

简介:KJ-V1200是一种立式流化床管式炉,专为固体气相沉积的CVD实验而设计。 炉管为高纯石英异形,炉管内嵌有石英网固定。 粉末 2 从管顶部进料到该筛网上。 另一个网片固定在活动法兰架部分上。 然后通入氮气和乙炔,将粉体1气体吹过上面的网孔,到达涂层反应区,将粉体2颗粒吹入反应区进行沉积实验。

产品简介

KJ-V1200是一种立式流化床管式炉,专为固体气相沉积的CVD实验而设计。 炉管为高纯石英异形,炉管内嵌有石英网固定。 粉末 2 从管顶部进料到该筛网上。 另一个网片固定在活动法兰架部分上。 然后通入氮气和乙炔,将粉体1气体吹过上面的网孔,到达涂层反应区,将粉体2颗粒吹入反应区进行沉积实验。

性能特点

  • 流化床设计
  • 真空气氛
  • 温控精准 断电保护

炉体和炉管直立,流化床设计,反应物料可以顺畅地通过反应区

该炉型可抽真空(可根据真空度的需要分别选配机械泵或真空机组),并可充入各种反应气氛(微正压)

通过可控硅功率控制和自动调谐功能实现智能30段PID自动控制, 内置过热和断热电偶保护

技术参数

技术参数

名称 立式流化床管式炉
型号 KJ-V1200-L2
加热区长度 300+300mm, 两温区  (可按照客户要求定制)
炉管尺寸 Φ50*1200mm  (可按照客户要求定制)
管材质 内置5-20um网孔的高纯石英管(定制)
工作温度 ≦1100℃
最高温度 1200℃
热电偶 N型
温度控制系统 通过可控硅功率控制和自动调谐功能实现智能30段PID自动控制
内置过热和断热电偶保护
温度控制精度 ±1℃
升温速率 建议0-10℃/min
加热元件 电阻丝
腔体材料 氧化铝陶瓷纤维
真空法兰 带阀门和针头的不锈钢真空法兰
真空泵 旋片真空泵
气路 用于氮气和乙炔的两路浮子流量计,可调节气体流量以使材料流化。 

配置功能可选

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