产品简介
KJ-V1200是一种立式流化床管式炉,专为固体气相沉积的CVD实验而设计。 炉管为高纯石英异形,炉管内嵌有石英网固定。 粉末 2 从管顶部进料到该筛网上。 另一个网片固定在活动法兰架部分上。 然后通入氮气和乙炔,将粉体1气体吹过上面的网孔,到达涂层反应区,将粉体2颗粒吹入反应区进行沉积实验。
性能特点
- 流化床设计
- 真空气氛
- 温控精准 断电保护
炉体和炉管直立,流化床设计,反应物料可以顺畅地通过反应区
该炉型可抽真空(可根据真空度的需要分别选配机械泵或真空机组),并可充入各种反应气氛(微正压)
通过可控硅功率控制和自动调谐功能实现智能30段PID自动控制, 内置过热和断热电偶保护
技术参数
技术参数
| 名称 | 立式流化床管式炉 |
| 型号 | KJ-V1200-L2 |
| 加热区长度 | 300+300mm, 两温区 (可按照客户要求定制) |
| 炉管尺寸 | Φ50*1200mm (可按照客户要求定制) |
| 管材质 | 内置5-20um网孔的高纯石英管(定制) |
| 工作温度 | ≦1100℃ |
| 最高温度 | 1200℃ |
| 热电偶 | N型 |
| 温度控制系统 | 通过可控硅功率控制和自动调谐功能实现智能30段PID自动控制 内置过热和断热电偶保护 |
| 温度控制精度 | ±1℃ |
| 升温速率 | 建议0-10℃/min |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 腔体材料 | 氧化铝陶瓷纤维 |
| 真空法兰 | 带阀门和针头的不锈钢真空法兰 |
| 真空泵 | 旋片真空泵 |
| 气路 | 用于氮气和乙炔的两路浮子流量计,可调节气体流量以使材料流化。 |



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工艺应用
加热元件及温区
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