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18137195607
性能特点
- 三温区独立控温
- 控温精准
- 可通多种气氛
采用三温区独立控制加热，每区多段程序控温系统，移相触发、可控硅控制
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
带有3个MFC气体通道，可手动混合1-3种气氛，适合不同的实验需求
技术参数
技术参数
| 设备名称 | 三温区管式炉 | |
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型号 |
带有3个MFC气体通道的 KJ-T1200 CVD |
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显示 |
发光二极管 |
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最高温度 |
1200℃ |
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连续工作温度 |
≤1100℃ |
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加热速率 |
建议：0〜10℃/ min |
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温度区 |
220mm+220mm+220mm |
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加热元件 |
电阻丝 |
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热电偶 |
N型 |
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温度控制精度 |
±1℃ |
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管尺寸 |
80x1200mm（外径x长） |
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管座 |
包括两个纤维状陶瓷块，用于阻止管子内部的热辐射（在加热之前，陶瓷块必须完全插入炉膛中）。 |
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温度控制 |
通过SCR功率控制进行PID自动控制 |
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程序和斜坡 |
30步可编程 |
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真空法兰 |
带阀的不锈钢真空法兰
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质量流量计 |
三种精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围为0〜100 sccm MFC 2：气体流量范围为0〜200 sccm MFC 3：气体流量范围为0〜200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳上装有一个气体混合罐，底壳左侧装有3个不锈钢针阀，以手动控制3种气体的混合 下面的照片是4 MFC供参考。3 MFC将带有3个显示器
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温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
