获取报价
18137195607
性能特点
- 卤素灯加热 升温速度快
- 底部滑轨设计 实现快速冷却
- 30段高精度数字可编程
加热元件采用卤素灯加热，升温速度可达50℃/秒
炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却
30段高精度数字可编程温度控制器，控温精度高，可达±1℃
技术参数
技术参数
| 处理晶圆尺寸：2英寸 | 处理晶圆尺寸：4英寸 | 处理晶圆尺寸：6英寸 | |||
| 炉管外径 | 100MM | 炉管外径 | 110-150MM | 炉管外径 | 180MM |
| 加热区尺寸 | 200MM | 加热区尺寸 | 300MM | 加热区尺寸 | 400MM |
更多尺寸可根据客户需求定制
| 产品名称 | RTP 快速退火炉 |
| 工作温度 | 900℃ |
| 控 制 器 | LED(可选配LCD触屏) |
| 炉 膛 | 开启式 滑道式 |
| 炉管尺寸 | 根据需求尺寸定制 |
| 加热元件 | 卤素灯 |
| 升温速率 | ≤50℃/S |
| 热 电 偶 | 根据实际需要设计来配 |
| 温度控制器 | 30段高精度数字可编程温度控制器 |
| 特殊要求 | 具体细节可根据客户需求定制（详情欢迎来电咨询我们） 1、可定制真空系统 2、可定制气路系统 3、其他特殊工艺需求 |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
