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18137195607
性能特点
- 加热速度快
- 温控精准
- 可快速退火
采用红外灯加热，加热速度快，升温速度可达50℃/秒
控温系统采用PID方式调节，30 段准确温度控制，精度为 ±1°C
炉子的底部安装有一对滑轨，可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧，以实现快速加热和快速冷却
技术参数
技术参数
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产品名称 |
定制RTP快速退火炉 |
| 型号 | KJ-RTP1000-DZ |
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第一部分： 管式炉 |
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产品名称 |
开启式上下温区RTP管式炉 |
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工作温度 |
≤1000℃ |
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控 制 器 |
LCD触摸屏 |
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炉管尺寸 |
石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口 |
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加热区 |
300mm（其他尺寸可根据客户需求定制） |
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炉型 |
开启式 |
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加热元件 |
卤素灯加热 |
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升温速率 |
≤50℃/S |
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测温元件 |
N型热电偶 |
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温度控制器 |
30段高精度数字可编程温度控制器 |
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第二部分 混气系统 |
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量程 |
MFC1：氧气（O2）0-200sccm MFC2：氩气（Ar）0-200sccm |
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第三部分 真空系统 |
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旋片式真空泵+排气过滤器+数字真空表 |
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温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
