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18137195607
性能特点
- 成品质量好
- 带尾气处理装置
- 可通保护气氛
- 安全防护功能
PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
配备喷淋塔、活性炭箱，离心吹扫机等尾气处理装置，满足尾气处理的需要
法兰上带有进出气旋转接头，可以通入氮气、氩气等惰性保护气体，可在气氛环境下使用
安全防护，具有超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动报警保护功能，操作安全可靠
技术参数
技术参数
| 产品名称 | PECVD |
| 产品型号 | KJ-T1200-PECVD |
| 炉膛结构 | 分体式，上部可打开，方便拿取炉管 |
| 炉管尺寸 | 直径Φ100mm，长1500mm （其他尺寸可根据客户需求定制） |
| 加热区长度 | 300mm（其他尺寸可根据客户需求定制） |
| 炉管材质 | 石英炉管 |
| 工作温度 | ≤1100℃ |
| 最高温度 | 1200℃ |
| 加热元件 | 含钼电阻丝 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热速率 | 建议10℃/min，可根据实验工艺进行调节 |
| 温度测试元件 | N型热电偶 |
| 控温系统 | 采用智能化多段PID可编程控制 温度控制系统采用人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制多段升降温程序； 1、采用PID 方式调节控温，可设置多段升降温程序 2、控温精度±1ºC 3、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断 4、仪表具有温度自整定的功能 |
| 密封方式 | 真空法兰的密封方式，密封效果好 |
| 冷却方式 | 空气冷却 |
| 真空系统 | 扩散泵系统： 真空度：10 -3 Torr~10 -4 Torr。 |
| 等离子电源系统 | 功率范围 0-500W（连续可调） 工作频率 13.56MHZ+0.005% 功率稳定度±1% 最大反射功率 200W |
| 质量流量计 (液晶触摸屏) |
两台精密质量流量计： MFC 精度为：±1.5% FS 氮气用 MFC 1 ：气体流量范围为 0~500sccm 氩气用 MFC 2 ：气体流量范围为 0~500sccm |
| 废气处理装备 | 2套喷淋塔 2套活性炭箱 1台离心吹扫 |
| 注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蚀性气体，易造成法兰等不锈钢件的损坏 对于样品加热的实验 不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。 若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数 若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
带尾气处理装置PECVD工厂实拍图
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
