获取报价
18137195607
性能特点
- 成品质量好
- 炉管可旋转
- 可通保护气氛
- 安全防护功能
PECVD具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
炉管采用定制变径炉管，管壁内带有石英拨料台，让物料受热更充分。炉管360℃旋转，旋转速度可调
法兰上带有进出气旋转接头，可以通入氮气、氩气等惰性保护气体，可在气氛环境下使用
安全防护，具有超温保护功能，当温度超过允许设定值后，自动报警保护功能，操作安全可靠
技术参数
技术参数
| 产品名称 | PE旋转管式炉 |
| 产品型号 | KJ-TX1100-S50LK1 |
| 炉膛材料 | 炉膛采用氧化铝多晶纤维 |
| 炉管尺寸 | 两端直径约Φ30mm，中间尺寸Φ50mm 总长约1200mm （其他尺寸可根据客户需求定制） |
| 加热区 | 200mm（其他尺寸可根据客户需求定制） |
| 炉管材质 | 石英炉管 |
| 工作温度 | ≤1000℃ |
| 最高温度 | 1100℃ |
| 加热元件 | 合金加热丝 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 加热速率 | 建议10℃/min，可根据实验工艺进行调节 |
| 温度测试元件 | N型热电偶 |
| 控温系统 | 采用智能化多段PID可编程控制 温度控制系统采用人工智能调节技术，具有 PID 调节、自整定功能并可编制多段升降温程序； 1、采用PID 方式调节控温，可设置多段升降温程序 2、控温精度±1ºC 3、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断 4、仪表具有温度自整定的功能 |
| 密封方式 | 采用磁流体和真空法兰的密封方式，密封效果更好 |
| 旋转速率 | 15rpm/min 可调 |
| 旋转结构 | 旋转方式，炉管可以360℃旋转，炉体可倾斜 |
| 真空系统 | 1、采用旋片真空泵,冷态极限真空度可达10Pa，真空泵含粉尘过滤器 2、KF快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3、数显真空计显示 |
| 等离子电源系统 | 功率范围 0-500W（连续可调） 工作频率 13.56MHZ+0.005% 工作模式 连续输出 冷却方式 风冷 |
| 售后服务 | 12个月质保、终身保修（加热元件、炉管等随机赠送配件不属于质保范围） |
| 注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa · 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，使用时会更加精确安全 · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 · 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蚀性气体，易造成法兰等不锈钢件的损坏 对于样品加热的实验 不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。 若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数 若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
