产品简介

主要用于金属粉末气相沉积镀膜。

性能特点

气密性好
温场均衡
可倾斜可旋转

炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好

采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡

炉体可倾斜，炉管可正、反转且转速可调，使物料动态加热，受热更均匀、和所通气体可充分接触反应

技术参数

产品名称	管式PECVD等离子气相沉积系统
旋转管式炉部分
产品型号	KJ-T1200
加热区长度	660mm（220+220+220mm三温区）（其他尺寸可根据客户需求定制）
炉管材质	高纯石英管（变径管）
炉管尺寸	变径管两端尺寸OD:80mm* 400mm 中间尺寸OD:150mm* 400mm 总长1200mm 炉管中间部分焊接扬料板（其他尺寸可根据客户需求定制）
工作温度	≦1100℃
最高温度	1200℃
测温元件	3支N型热电偶分别控温
温控系统	触屏显示，16段可储藏曲线，30段PID微电脑可编程自动控制，能储存和拷贝数据
保温温控精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	建议0-10℃/min
加热元件	合金电阻丝
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好
法兰	水冷密封法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀，方便拆卸，放取材料
倾斜结构	可倾斜倾斜角0-15°（倾斜角可调）方便进出料
旋转结构	可 360 度旋转，转速0-15转（速度可调）材料在炉膛内均匀受热
真空系统部分
名称	分子泵组：旋片泵+分子泵
主要参数	极限真空度6.7*10-3Pa（包含KF25接口、真空挡板阀和可移动箱体）
真空显示	实时显示真空度
旋转密封	磁流体密封，保证旋转过程中还能抽真空
气路系统部分
名称	三路质量流量计
气路	三路
流量控制	液晶触摸屏控制，数字显示
进出气口	三进一出，内置精密混气罐
等离子射频器部分
名称	射频自动匹配器
匹配功率范围	0-500W
工作频率	13.56MHZ+0.005%
控制模式	手动/自动