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18137195607
产品简介
科佳高真空PECVD设备由管式炉、真空系统、气体供应系统、射频电源系统等组成。该系统主要用于金属薄膜、陶瓷薄膜、复合薄膜、石墨烯等的生长，，如SiOx、SiNx、SiOxNy和非晶硅（a-Si:H）。
性能特点
- 更好的沉积效率
- 所需温度更低
- 成品质量好
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
技术参数
技术参数
| 产品名称 | 摇臂式集成控制PECVD设备 |
| 产品型号 | KJ-PECVD |
| 第一部分滑轨管式炉部分 | |
| 炉管尺寸 | Φ25mmX1600mm（最终长度取决于最终设计） |
| 炉管材料 | 石英管 |
| 加热区 | 200+200mm (双温区) |
| 工作温度 | ≤1100°C |
| 最高温度 | 1200°C |
| 温度控制方法 | N型热电偶 |
| 控制方式 | 触摸屏控制，带独立摇臂，可根据实际需要调节温控屏角度，使用更方便 |
| 温度控制精度 | ±1℃ |
| 温度控制保护 | 具有过热和烧毁保护功能 |
| 加热速率 | 建议≤10ºC/min，最大20ºC/min |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 工作电压 | 交流220V单相50HZ/60HZ（电路电压用户可选择定制） |
| 加热功率 | 4KW |
| 炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
| 炉膛结构 | 炉体有滑轨，可实现快速加热和冷却 |
| 真空法兰 | 标准配置配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
| 密封系统 | 炉管和法兰采用硅胶O型圈挤压密封，拆卸方便，可反复拆卸，气密性好。 |
| 外壳 | 碳钢或不锈钢外壳 |
| 可选 | 辅助冷却风扇 |
| 第二部分真空系统部分 | |
| 名称 | 真空系统 |
| 主要参数 | 1.采用中国品牌高真空分子泵组，极限真空度可达6.7x10-3pa（空冷状态） 2.KF25快速连接，不锈钢波纹管，手动挡板阀和法兰，真空泵连接； 3、数字真空显示，测量范围为5×10-50-150mbar，测量精度高 |
| 第三部分供气系统部分 | |
| 名称 | 四通质量流量计 |
| 主要参数 | 四通道精密质量流量计：触摸屏控制、数字显示、自动控制 1、流量范围：MFC 1-MFC3:10-1000sccm可调 MFC1:CH4 0-10sccm MFC2:H2 0-200sccm MFC3:0-200sccm MFC4:0-300sccm 控制精度：±1.5%F.S。 2.一个混合罐 3.供气系统左侧安装4个不锈钢针阀，可手动控制4种气体； 4.进风口和出风口：4进1出 流量控制：LCD触摸屏 注：不支持液体或腐蚀气体。 |
| 第四部分等离子电源部分 | |
| 名称 | 500W等离子电源 |
| 功率范围 | 0-500W（连续可调） |
| 工作频率 | 13.56兆赫+0.05% |
| 操作模式 | 连续输出 |
| RF输出阻抗接口 | N型，内螺纹（50Ω） |
| 功率稳定性 | ≤2W |
| 电源保护设置 | 直流过流保护、功率放大器过温保护、反射功率保护 |
| 冷却法 | 空气冷却 |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
