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产品简介
1、与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏； 2、可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果； 3、炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃； 4、带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
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简介：1、与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏； 2、可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果； 3、炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃； 4、带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
1、与普通PECVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温对薄膜的损坏； 2、可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果； 3、炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区最大温差为400℃； 4、带有预热炉，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
温度范围
1100°C 1400°C 1700°C
开门方式
侧开门/上开门/下开门/底部升降式/台车式
工艺应用
烧结/钎焊/退火/回火/热处理
加热元件及温区
电阻丝/硅碳棒/硅钼棒
单温区/多温区
炉膛尺寸
标准型/非标定制型
定制服务流程
河南鸿炉 7*24小时服务热线
公司地址：
河南省郑州市荣阳装备制造产业园一期31号标准化广房1-2层
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