产品简介

该pecvd设备是由管式炉真空泵和六通道质量流量计气体流动系统组成的。它可以混合1-6种气体用于PECVD或扩散。

性能特点

更好的沉积效率
所需温度更低
成品质量好

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

技术参数

型号		KJ-PECVD-LM
管式炉部分	显示	触摸屏
	连续工作温度.	≤1100℃第一温区 ≤1100℃第二温区 ≤1600℃第三温区
	升温速率	建议: 0~10℃/min
	温区	220mm+220mm+220mm （其他尺寸可根据客户需求定制）
	加热元件	硅碳棒和硅钼棒
	热电偶	N型和B型
	温度控制精度	±1℃
	炉管尺寸	直径:80 *长度:1600mm （其他尺寸可根据客户需求定制）
	炉管尺寸	材料：氧化铝管
	温度控制	通过SCR功率控制的PID自动控制
	倾斜功能	0-15度（不建议在1100C温度下使用倾斜功能，因为硅钼棒加热元件可能容易损坏。高温时会变软，请注意。）
	加热曲线	30步可编程
	真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰右侧法兰为滑动式。法兰应为水冷式。
等离子射频	功率范围	0-300W（连续可调）
	控制模式	手动
	工作频率	13.56MHz
	报警保护	直流过载保护、直流/放大器过热保护、反射功率保护、匹配超时保护
	射频输出阻抗接口（50Ω）	N型
	功率稳定性	≤ 1 W
	最大反射功率	200 W
真空泵系统	分子泵系统	极限真空：6.7*10-3Pa。包括数字真空计
质量流量计（LCD触摸屏）	六个精密质量流量计： MFC精度为：±1.5%F.S。
液体蒸气发电机	包括自动液体蒸汽发生器，并连接到ALD阀
17MHZ超声波雾化	配超声波雾化器，液体可雾化成液体颗粒并引入管式炉。 •液体罐标配不锈钢，并用氟橡胶密封件密封； •雾化量大小可控制；
液体注入系统	•一套用于自动液体供给的标准液体注入泵 •注射泵配有注射器，用于容纳液体； •注射泵速度可调节
水冷却器	用于冷却水冷法兰和真空泵。