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18137195607
性能特点
- 样品速度稳定
- 成品质量好
- 更好的沉积效率
收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样
具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点
PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性
技术参数
技术参数
| 产品名称 | 卷对卷PECVD系统 | |
| 产品型号 | KJ-T1200-JCY | |
| 1200℃双温区管式炉 | 加热温区 | 双温区 200mm+200mm（其他尺寸可根据客户需求定制） |
| 工作温度 | ≤1200℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 | |
| 炉管材质 | 高纯石英 | |
| 炉管尺寸 | φ80mm x 1400mm L（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 密封方式 | 不锈钢真空法兰 | |
| 工作气体 | 氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 | |
| 真空泵 | 旋片式真空泵 | |
| 极限真空度 | 10^-1Pa | |
| 三路质量流量计 | 阀门类型 | 不锈钢针阀 |
| 气路数量 | 三路 | |
| 承压范围 | 0.05~0.3MPa | |
| 量程 | 1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) |
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| 流量控制范围 | ±1.5% | |
| S射频电源 | 输出功率 | 500W |
| 输出精度 | ±1% | |
| 射频频率 | 13.56MHz | |
| 射频稳定度 | ±0.005% | |
| 冷却方式 | 风冷 | |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
