产品简介

KJ-T1200 PECVD 是一种 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）的管式炉系统，它由 500W 射频电源、带有 200毫米直径石英管的可拆分管式炉、真空泵和三通道质量流量计气体流动系统组成。它可以混合 1-3 种气体用于 CVD 或扩散。

性能特点

具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点

PECVD比普通CVD具有更高的化学气相沉积速率、更好的均匀性、一致性和稳定性

PECVD对于化学气相沉积需要比普通CVD更低的温度

型号		KJ-T1200 PECVD
等离子射频电源	输出功率	5 -500W可调，均匀性 ± 1%
	RF频率	13.56 MHz ±0.005%
	反射功率	最大 200W
	冷却	空气冷却
管式炉部分	显示	LED
	形式	分体式和上部可打开
	连续工作温度	≤1100℃
	升温速率	建议：0~10℃/min
	温区长度	500mm（其他尺寸可根据客户需求定制）
	加热元件	含钼电阻丝
	热电偶	N型
	温度均匀性	±1℃
	炉管尺寸	200m外径 *长度1600mm （其他尺寸可根据客户需求定制）
	炉管尺寸	材质：石英管
	温度控制	通SCR功率控制进行 PID 自动控制
	加热曲线	30步可编程
	法兰	不锈钢带阀真空法兰
真空泵	旋片真空泵流量：4L/S 旋片式真空泵将设计成带轮的推车。
质量流量计	三款精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围为 0~100 sccm MFC 2：气体流量范围为 0~100 sccm MFC 3：气体流量范围从 0~100 sccm （或根据您的要求）底壳安装1个气体混合罐，底壳左侧安装3个不锈钢针阀，手动控制3种气体混合
真空计	数字真空计