产品名称

高真空PECVD设备

滑轨管式炉部分

产品型号

KJ-T1200-S5030-H

炉管尺寸

Φ50mmX1600mm （其他尺寸可根据客户需求定制）

炉管材质

石英管

加热区

300mm（其他尺寸可根据客户需求定制）

工作温度

≤1100℃

最高温度

1200℃

温控方式

N型热电偶

控制方式

触屏控制，带独立摇臂，可以根据实际使用需求，调节温控屏的角度，使用更方便

控温精度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

升温速率

建议≤10ºC/min

加热元件

含钼电阻丝

炉膛材料

氧化铝多晶纤维

炉体结构

炉体带滑轨，可实现快速升温和降温

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。

壳体

不锈钢壳体

选配

辅助降温风扇

真空系统部分

名称

真空系统

主要参数

1.采用进口安捷伦高真空分子泵组，极限真空度可达10-3pa

2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连；

3.数字式真空显示，测量精度高

气路系统部分

名称

四路质量流量计

主要参数

四通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示，自动控制。

4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体；

进出气口：3进1出

流量控制：手动旋转式调节

等离子电源部分

名称

500W等离子电源

售后服务

质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）