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18137195607
性能特点
- 高纯氧化铝纤维炉膛
- 双层外壳结构 配备冷风系统
- PID智能温控系统
发热元件采用优良电阻丝，炉膛采用陶瓷纤维材料，保温性能好，抗拉强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显
双层钢制外壳，带双冷却风扇，炉壳温度始终保持在安全范围内，上开启打开炉门，操作方便
内置PID自动调节功能，具有过热和断开热电偶断开保护； 超温保护和报警
技术参数
技术参数
| 设备名称 | CVD管式炉 |
| 设备型号 | KJ-TCVD1200-S50CK1 |
| 最高温度 | 1200 ℃ |
| 工作温度 | ≤1100℃ |
| 显示 | 触摸屏 |
| 炉管尺寸 | 外径50mm，总长度600m（其他尺寸可按需求定制） |
| 管材 | 石英 |
| 热区长度 | 200mm（单温区） （其他尺寸可按需求定制） |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 加热速率 | 0-10℃/min |
| 温度控制 |
● 30个可编程段，用于控制加热速率、冷却速率和停留时间。 ● 内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶损坏保护功能。 ● 超温保护和报警 |
| 热电偶 |
N型 |
| 温控精度 | ±1℃ |
| 炉体材质 | 炉体整体不锈钢，下箱碳钢 |
| 炉膛结构 |
双层钢制外壳，带双冷却风扇 |
| 真空法兰 | 不锈钢密封水冷法兰 |
| 供气系统 | |
| 1通道质子流量计： | 气路：一路氮气 流量控制：触屏控制（选配） |
| 真空泵+真空计系统 | |
| 真空泵+真空计 | 旋片泵，极限真空度达到10Pa（冷却状态） |
| 压力表 | 机械压力表 |
CVD管式炉工厂实拍图
注意事项：
1、设备炉膛温度≥200℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；
2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.02MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；
4、在对样品加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
