产品简介

这款双温区滑道CVD管式炉采用滑道设计，可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热；可同时连接6种气源，气体流量采用触屏6路质量流量控制器进行精确测量和控制。该高温CVD设备主要用于大学，研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

性能特点

该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管

炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀

整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，炉体表面可以安全触摸无滚烫感觉

炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和

产品名称	CVD系统
型号	KJ-TCVD1200-S60CK2
双温区滑道管式炉部分
炉膛模式	开启式
炉体滑动	可以通过导轨左右滑动实现物料的快冷和快热
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	含钼加热丝
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	建议:≤10℃min
加热温区	双温区
温区总长度	200+200mm（其他尺寸可按客户需求定制）
炉管材质	高纯石英
炉管直径	60mm（其他尺寸可按客户需求定制）
密封方式	不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 其中一端用方便进出物料的快接法兰，预留进气品和出气口
控制模式	多段智能PID程序控温
测温元件	N型热电偶
报警	有超温和断偶报警
供气系统 KJ-6Z
最大气压	3*10-3Pa
气体通道	可同时连接6种气源质量流量计和混气罐都安装在移动箱体内
流量计	质量流量计(可选其他量程不影响价格)
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	不锈钢管
真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)
真空泵+数显真空计	分子泵机组及相应连接管件底部安滑轮方便移动，上方可放置高温炉极限真空度可实现6.67*10^-3pa