产品简介

郑州科佳生产的这款CVD管式炉广泛用于样品在真空和气氛条件下的烧结、涂层、纳米管研究、钎焊、退火等实验，适用于高校、研究机构实验室和工矿企业进行CVD工艺的科研和实验。

性能特点

双层壳体上开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

采用LCD触屏操作系统，操作方便快捷，数据可存储可通过EXCEL输出

可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便，密封性好，可抽真空通多种气氛

加热系统（管式炉）
最高温度	1200 ℃
工作温度	≤1100℃
显示	LCD触摸屏
管径	100mm（外径）（其他尺寸可按客户需求定制）
管材	高纯石英管
热区长度	300mm（其他尺寸可按客户需求定制）
加热元件	含钼电阻丝
加热速率	建议≤10℃/min
温度控制	•可保存16条温度曲线的LCD触摸屏控制，每条温度曲线可自动设置，可编程30步。 •通过SCR功率控制实现PID自动控制。 •内置超温和热电偶故障保护。
热电偶	N型
温控精度	±1℃
炉膛	双层钢制外壳，带双冷却风扇，上开启结构高纯度Al2O3纤维炉膛材质，保温节能
真空法兰	带阀门的不锈钢真空法兰
供气系统
浮子流量计	S标准流量范围：气体流量为10-100ml/min（最终流量范围基于客户要求）
压力表	机械压力表（-0.1Mpa至0.15Mpa）
真空泵+真空计系统
高真空扩散泵组	旋转叶片泵、扩散泵系统极限真空：0.0001mbar
真空计	电阻真空计电离真空计
冷水机组（选配）	冷水机组用于冷却水泵
质保	一年有限保修（加热元件等消耗品不在保修范围内），并提供终身支持