性能特点
- 自动压力调节系统
- 多重安全防护功能
- 控温精度可以达到±1℃
配置触摸屏PLC控制器,可根据需求将压力调节为 50-300torr
有超温保护和报警,及过热和热电偶断裂保护功能,保证了设备和人员安全。
控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃
技术参数
技术参数
| 设备名称 | 自动压力控制CVD管式炉 |
| 设备型号 | KJ-1200T |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 |
| 最高工作温度 | 1200℃ |
| 连续工作温度 | ≤1100℃ |
| 升温速率 | 建议0-10 ℃/min |
| 炉管尺寸 | 外径 50mm x 长1200 mm (其他尺寸可按客户需求定制) |
| 加热区长度 | 200mm+200mm+200mm(其他尺寸可按客户需求定制) |
| 热电偶 | N型 |
| 控温系统 | PID30段程序化控温 |
| 控温精度 | +/- 1 ℃ |
| 压力调节系统 | 质量流量计一台:可根据泵压力调节 压力传感器:安装在炉管出口处 触摸屏控制器 |
| 皮拉尼真空计 | 安装在炉管进气侧 |
| 四通道MFC气体混合站 | 显示:液晶触摸屏 最大压力:3×10^6Pa 四个精密质量流量计: 底壳上安装有1个气体混合罐,底壳左侧安装有5个不锈钢针阀,可手动控制4种气体混合。 |
| 真空泵 | 涡旋真空泵 |
| 售后服务 | 质保一年,终身保修 |



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