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自动压力控制CVD管式炉

自动压力控制CVD管式炉

型号:KJ-1200T

简介:主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等工业真空烧结、保护气氛烧结、CVD实验、真空沉积、材料成分测定场合。

产品简介

主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等工业真空烧结、保护气氛烧结、CVD实验、真空沉积、材料成分测定场合。

性能特点

  • 自动压力调节系统
  • 多重安全防护功能
  • 控温精度可以达到±1℃

配置触摸屏PLC控制器,可根据需求将压力调节为 50-300torr

有超温保护和报警,及过热和热电偶断裂保护功能,保证了设备和人员安全。

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

技术参数

技术参数

设备名称 自动压力控制CVD管式炉
设备型号 KJ-1200T
加热元件 掺钼铁铬铝合金  
最高工作温度 1200℃
连续工作温度 ≤1100℃
升温速率 建议0-10 ℃/min
炉管尺寸 外径 50mm x  长1200 mm (其他尺寸可按客户需求定制)
加热区长度 200mm+200mm+200mm(其他尺寸可按客户需求定制)
热电偶 N型
控温系统 PID30段程序化控温
控温精度 +/- 1 ℃
压力调节系统 质量流量计一台:可根据泵压力调节
压力传感器:安装在炉管出口处
触摸屏控制器
皮拉尼真空计 安装在炉管进气侧
四通道MFC气体混合站 显示:液晶触摸屏
最大压力:3×10^6Pa
四个精密质量流量计:
底壳上安装有1个气体混合罐,底壳左侧安装有5个不锈钢针阀,可手动控制4种气体混合。
真空泵 涡旋真空泵
售后服务 质保一年,终身保修

 

配置功能可选

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