产品简介

适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等实验。

性能特点

智能PID控制，多段可编程控温和自整定功能，多段"时间—温度曲线"任意可设

可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便，密封性好，可抽真空通多种气氛

双层壳体上开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围

产品名称	化学气相沉积系统
产品型号	KJ-TCVD1200-S80LK1
管式炉部分
炉膛模式	开启式
显示模式	LED
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	合金电阻丝
极限温度	1200℃
工作温度	≤1100℃
升温速率	0-10℃/min
加热温区	单温区
温区长度	440mm（其他尺寸可按客户需求定制）
炉管材质	高纯石英
炉管外径	80mm（其他尺寸可按客户需求定制）
炉管长度约	1000mm（其他尺寸可按客户需求定制）
密封方式	可重复拆装的不锈钢密封法兰。拆装方便，密封性好
控制模式	智能PID控制，具有多段可编程控温和自整定功能
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
报警：有超温和断偶报警
测温元件	N型热电偶
供气系统
流量计	三路质量流量计（量程可根据需要选择）
A路量程氮气	0～1000SCCM
B路量程甲烷	0～500SCCM
C路量程乙烯	0～1000SCCM
混气	内含一个精密混气罐
真空系统(含不锈钢波纹管和相关连接配件)
真空泵抽速	2L/S抽速的机械旋片泵、波纹管及相关连接件，极限真空可实现10pa
数显真空计	数显电阻真空计集成在可移动供气系统箱体上
测量路数	1路
显示方式	LED数字显示