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两通道CVD系统

两通道CVD系统

型号：KJ-T1200-CVDII

简介：本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛，该设备适用于各种CVD实验。

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产品简介

本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛，该设备适用于各种CVD实验。

性能特点

  • 双层壳体上开启结构
  • 超温保护和预警功能
  • 温控系统智能精准

双层壳体上开启结构，取放炉管方便，装有风冷系统,炉子外壳温度保持安全范围内

内置PID自动调节功能，具有过热和热电偶损坏保护功能，超温保护和报警

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

技术参数

技术参数

产品名称 两通道CVD系统
产品型号 KJ-T1200-CVDII
管式炉部分
工作温度 ≤1100℃
控温精度 ±1℃
加热速率 建议≤10℃/min
控温模式 可编程智能PID
曲线段数 30段
炉膛长度 440mm（其他尺寸可按客户需求定制）
数据接口 USB
混气系统
测量设备 质量流量控制器
测量量程 500SCCM
气体通道 两通道
连接管道 304不锈钢管
接口模式 卡套接头

配置功能可选

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