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高温CVD系统

高温CVD系统

型号:KJ-T1600

简介:主要用于真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境。适用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品简介

主要用于真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境。适用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

性能特点

  • 智能温控
  • 安全防烫
  • 结构合理
  • 超温保护及预警

可控硅自动控温,移相触发,30段可编程PID智能控制

双层炉壳结构,装有风冷系统用于降低壳体表面温度,保证了操作人员的安全。

不锈钢双层密封法兰,两端可调节法兰支撑结构,延长炉管使用寿命

过热和断偶保护,超温保护蜂鸣器警报

技术参数

技术参数

产品名称 高温CVD系统
产品型号 KJ-T1600
结构 碳钢外壳
双层氧化铝纤维板
1600度氧化铝纤维板
1800度氧化铝纤维板
 冷却风扇
炉管  刚玉管OD.80mm×Len.1000-1200mm
外径80mmx长度1000-1200mm

 (其他尺寸可按客户需求定制)
密封 带胶圈法兰(带有指针式压力表)
加热区长度 440mm (其他尺寸可按客户需求定制)
工作温度 ≤1600℃
温度传感器 B型热电偶 
温度控制 可控硅自动控温
移相触发
30段可编程PID智能控制,过热和断偶保护
超温保护蜂鸣器警报
加热速率 建议:≤10℃/min
控温精度 +/-1℃
加热元件  硅钼棒 
 
真空计
显示 数字显示
带测量单位Torr
 
真空泵
 极限真空度 3pa


配置功能可选

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