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18137195607
性能特点
- 真空度自动控制
- 耐冲击高真空系统
- PID程控控制系统
中低真空系统具有真空度上下限自动控制功能
高真空系统采用高压强，耐冲击真空泵，防止意外漏气造成真空泵损坏，延长系统使用寿命
控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲
技术参数
技术参数
| 产品名称 | 低真空CVD系统 |
| 产品型号 | KJ-T1200-S60-CVD |
| 管式炉部分 | |
| 炉体结构 | 双层壳体结构，配有冷风系统自动降温炉壳温度 |
| 炉膛材质 | 真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
| 最高温度 | 1200℃ |
| 连续工作温度 | 1100℃ |
| 升温速度 | 推荐≤10℃/min |
| 炉管材料 | 高纯石英管 |
| 炉管尺寸 | OD:60mm* ID:54mm * 长1200mm （其他尺寸可根据客户需求定制） 仪器使用前必须放入管堵，防止热辐射 |
| 加热区长度 | 220+220+220mm （其他尺寸可根据客户需求定制） |
| 法兰 | 不锈钢密封法兰，拆卸方便，法兰上装有精密针阀 |
| 温控系统 | 温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 1、采用PID方式调节控温，可设置30段升降温程序 2、控温精度±1ºC 3、具有过温保护、断偶保护 4、仪表具有温度自整定的功能 |
| 加热元件 | 含钼合金电阻丝 |
| 测温元件 | N型热电偶 |
| 进出气口 | 法兰上含有真空连接口，进出气口 |
| 气路系统部分 | |
| 质量流量计 | 四路精密质量流量计：数字显示、气体流量自动控制。 MFC1 范围: 0-500 sccm(量程可选) MFC2 范围: 0-500 sccm(量程可选) MFC3 范围: 0-500 sccm(量程可选) MFC4 范围: 0-500 sccm(量程可选) 气路:4 路 流量精度: 0.2% |
| 真空系统部分 | |
| 真空泵 | 1.旋片泵抽速2L/S 2.极限真空度：7*10-2Torr 3.数显真空计，实时显示真空度，真空显示范围：1×105--1×10-1pa |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
