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18137195607
性能特点
- PID程控技术
- 操作方便快捷
- 稳定的真空系统
控制电路选用模糊PID程控技术，控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠
气路采用快速连接法兰结构,提高操作便捷性
具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵
技术参数
技术参数
| 产品名称 | 三温区CVD系统 | |
| 产品型号 | KJ-OTF-1200-80*220*3-F3 | |
| 加热系统 | 显示 | LED |
| 最高温度 | 1200℃ | |
| 工作温度 | 1100℃ | |
| 升温速率 | 建议: 0~10℃/min | |
| 温区 | 3温区 | |
| 每个区域的长度 | 220mm（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 加热元件 | 钼电阻丝 | |
| 热电偶 | N型 | |
| 温度控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸/材质 | 80 x 1300mm （其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 材料：高纯度石英 | ||
| 温度控制 | 通过SCR功率控制的PID自动控制 | |
| 加热过程 | 30步可编程 | |
| 真空测量 | 复合数字真空计 | |
| 真空法兰 | 带阀和针的不锈钢真空法兰 | |
| 真空泵系统 | 冷态极限真空6.67*10-3Pa。 真空泵总成（旋转叶片泵+扩散泵） |
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| 气路系统 | 高精度质量流量计 | 3气路Ar、N2、C2H4气体 |
| 流量范围 | 可选（20、30、50、100、200、300、500）SCCM | |
| 工作压力差范围 | 0.1~0.5MPa | |
| 耐压性 | 3MPa | |
| 更多尺寸可按需求定制 | ||
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
