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产品简介
该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。采用智能温度控制系统，气体流量控制精度高，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。
性能特点
- 刚玉材质炉管
- PID自动温控
- 良好的气密系统
炉管采用刚玉材质，工作温度可达1600度，具有高温稳定性和耐腐蚀性，加热均匀性好
控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃
炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、密封性强，法兰带阀门和相关接口，可抽真空通气氛
技术参数
技术参数
| 产品名称 | 高温化学气相沉积系统 | |
| 产品型号 | KJ-CVD-1700-60*300-F3 | |
| 加热部分 | 显示 | LED |
| 最高温度 | 1700℃ | |
| 工作温度 | ≤1600℃ | |
| 升温速率 | 建议: 0~10℃/min | |
| 加温温区 | 300mm（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 加热元件 | 硅钼棒 | |
| 热电偶 | B 型 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 炉管尺寸 | 60 x 900mm（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 刚玉管 | ||
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 升温速率 | 30段可编程 | |
| 最大工作压力 | 0.02MPa | |
| 真空部分 | 真空泵总成 （旋转叶片泵+扩散泵） | 冷态极限真空6.67*10-3Pa。 |
| 真空测量 | 复合真空计。 | |
| 真空法兰 | 带阀和针的不锈钢真空法兰 | |
| 质量流量计（3条气体路线Ar、H2、CH4） | 流量范围 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
| 输入电压信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
| 输出电压信号 | 0 V ~ +5.00 V | |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
