产品简介

KJ-T1200 CVD是一种管式炉，配备100mm直径石英管、真空泵和五通道质量流量计气体流动系统。它可以混合1-5种气体用于CVD或扩散。该CVD高温管式炉主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

性能特点

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

炉管采用高纯石英材质，耐高温耐酸碱腐蚀，高透明材质，便于观察反应情况

采用触屏操作系统，数据可存储可通过EXCEL输出

产品名称		1200度CVD设备
型号		KJ-T1200
管式炉部分	显示	7”液晶触摸屏
	最高温度	1200℃
	工作温度	≤1100℃
	升温速率	0~10℃/min
	温区长度	440mm（其他尺寸可根据客户需求定制）
	加热元件	钼电阻丝
	热电偶	N型
	温度控制精度	±1℃
	炉管	100 x 1000mm (外径 x 长度) （其他尺寸可根据客户需求定制）
	炉管	材质：石英管
	温度控制	通过可控硅功率控制进行PID自动控制
	加热曲线	30 步可编程
	真空法兰	不锈钢真空法兰。法兰的一端有 1 个带刺针阀，安装有机械压力表。法兰的另一端有一个带倒钩针阀的 KF25 端口
真空泵	旋片真空泵	极限真空 10-3 托。管内的真空度约为 10-1 Torr。（RM温度和空管条件）流量：2L/S 包括数字真空计
质量流量计带液晶触摸屏控制器	一个浮子流量计+五个精密质量流量计： MFC 精度为：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮气：气体流量范围为 0~100 sccm 氢气用 MFC 2：气体流量范围 0~200 sccm MFC 3 for methan : 气体流量范围为 0~300 sccm 氩气用 MFC 4：气体流量范围 0~400 sccm 氧气用 MFC 5：气体流量范围 0~500 sccm