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18137195607
性能特点
- PID程控控制系统
- 耐冲击高真空系统
- 刚玉材质炉管
控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠
高真空系统采用高压强，耐冲击真空泵，防止意外漏气造成真空泵损坏，延长系统使用寿命
炉管采用刚玉材质，工作温度可达1600度，具有高温稳定性和耐腐蚀性，加热均匀性好
技术参数
技术参数
| 名称 | 高温三温区CVD设备 | |
| 型号 | KJ-OTF-1700-F5 | |
| 加热系统 | 显示 | LED |
| 最高温度 | 1700℃ | |
| 工作温度 | ≤1600℃ | |
| 升温速率 | 建议0~10℃/min | |
| 温区数量 | 3 | |
| 温区长度 | 220mm（其他尺寸可根据客户需求定制） | |
| 加热元件 | 硅钼棒 | |
| 热电偶 | B型 | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 管尺寸 | 外径80mm * 长度1400mm （其他尺寸可根据客户需求定制） |
|
| 材质：刚玉 | ||
| 温度控制 | PID自动控制 | |
| 温控方式 | 30段可编程 | |
| 真空计 | 复合真空计 | |
| 真空法兰 | 带阀门和针头的不锈钢真空法兰 | |
| 真空泵系统 | 真空泵组 （旋片泵+扩散泵） |
冷态极限真空6.67*10-3Pa。 |
| 质量流量计（5气路） | 流量范围 | (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM |
温度范围
开门方式
工艺应用
加热元件及温区
炉膛尺寸
