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箱式化学气相沉积系统

箱式化学气相沉积系统

型号:KJ-M1200(1400/1700)-Z

简介:应用于大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。广泛用于高等院校、科研单位、工矿企业进行:高温实验、材料烧结、成分分析,质量检测等热处理工作。

产品简介

应用于大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。广泛用于高等院校、科研单位、工矿企业进行:高温实验、材料烧结、成分分析,质量检测等热处理工作。

性能特点

  • 工作温度可选
  • 适用范围广
  • 可设置30段升降温程序

不同的加热元件达到最高1200℃、1400℃、1700℃,温场均衡,可根据需求选择温度

是半导体工业中应用广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料、二维材料等

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,移相触发,控温精度可以达到±1℃

技术参数

技术参数

型号 

KJ-M1200-Z

KJ-M1400-Z

KJ-M1700-Z

最高温度

1200℃

1400℃

1700℃

工作温度

≤1100℃

≤1300℃

≤1600℃

加热元件

含钼电阻丝

优质硅碳棒

优质硅钼棒

升降方式

底部液压升降

热电偶

N型

S型

B 型

炉膛尺寸(mm)

150x150x150

300x300x300

500x500x500

200x200x200

300x300x400

600x600x600

200x200x300

400x400x400

800x800x800

炉膛材质

氧化铝陶瓷纤维

氧化铝陶瓷纤维

氧化铝陶瓷纤维

加热速度

0-10℃/min

0-10℃/min

0-10℃/min

温控精度

±1℃

±1℃

±1℃

其他规格可以按照客户要求定制

选配

坩埚、触屏控温、电脑温控软件等

注意事项

 1.为了提升炉组件的寿命,建议升温速率不超过10℃/min。 

 2.冷却速率应不超过5℃/min。 

 3.该炉无真空密封性,禁止通入有毒或爆炸性气体。 

 4.在炉膛的表面上可能会出现小裂纹。这是一个正常的现象,不影响正常使用,裂纹可以用氧化铝涂层修复。 

 5.加热炉膛可更换 

 6.若燃烧物料释放蒸气或冒烟,请将炉膛放入通风柜内操作。

配置功能可选

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