产品名称

1200℃双管滑道式CVD系统

第一部分： 1200度滑道双管双温区管式炉

产品型号

1200度滑道管式炉

炉管尺寸

双石英管
外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm
内管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm
（其他尺寸可根据客户需求定制）

加热区

220+220mm（其他尺寸可根据客户需求定制）

加热元件

电阻丝

升温速率

0-10°C/min

热电偶

 N型

第二部分： 水冷系统

法兰

1.可选配水冷机

2.水冷，密封双管的真空法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.

第三部分  真空系统

真空系统

1. 防腐数显真空计   

2.旋片泵,含挡板阀 KF25接口，波纹管和箱体

第四部分  混气系统

质量流量计

量程：

MFC 1: 0~10 sccm  

MFC 2: 0~200 sccm  

MFC 3: 0~10 slm  

MFC 3: 0~10 slm