产品名称

流化床CVD系统

产品型号

KJ-CVD-DZ

立式管式炉部分

炉膛模式

立式开启式

炉膛材料

进口氧化铝耐火纤维

加热元件

优质硅碳棒

极限温度

1400℃

工作温度

≤1300℃

升温速率

建议≤10℃/min

加热温区

单温区、多温区

温区总长度

200mm、300mm、440mm可选
（其他尺寸可根据客户需求定制）

炉管材质

高纯石英管、刚玉管

炉管直径

40、50、60、80、100mm可选
（其他尺寸可根据客户需求定制）

密封方式

304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)  

控制模式

多段智能PID程序控温  预留通讯接口

控温精度

±1℃

温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

测温元件

N型热电偶

气路系统部分

气体通道

可同时连接多种气源

流 量 计

质量流量计

A路量程  

0～500SCCM

B路量程 

0～500SCCM

C路量程  

0～500SCCM

.....

 .....

气路压力

-0.1～0.15 MPa

截止阀

不锈钢材质

气体连接管

1/4不锈钢管

数显真空计及连接件

数显真空计  

数显真空计安装在不锈钢法兰上

      真空泵组(相关连接配件)

真空泵

真空泵,及相应连接管件 

售后服务

质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）