产品简介

主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺研究

性能特点

有超温保护和报警，及过热和热电偶断裂保护功能，允许在无人值守的情况下运行

控温系统采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序，控温精度可以达到±1℃

气密性好，法兰上可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式

产品名称	定制高温CVD系统
沉积炉
产品型号	KJ-T1500CVD-DZ
炉膛模式	开启式
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	U型硅钼棒
极限温度	1600℃高温区
工作温度	≤1500℃高温区
升温速率	≤10℃/min
加热温区	单温区、双温区、多温区，可根据需求选择
温区总长度	200mm、300mm、400mm可选（其他尺寸可根据客户需求定制）
炉管材质	刚玉管
炉管直径	40mm、50mm、60mm、80mm、100mm可选（其他尺寸可根据客户需求定制）
密封方式	定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口方便进气底部法兰加支架方便工件放在沉积炉低温区
控制模式	每个温区单独 30段智能PID程序控温
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	B型双铂铑热电偶
供气系统集成在控制柜上
气体通道	可同时连接多种气源
流量计	浮子流量计
A路量程	1L/MIN
B路量程	1L/MIN
C路量程	1L/MIN
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
气化炉A、B
最高温度	700℃
工作温度	≤500℃
炉膛尺寸	定制
开门方式	上开
进气口	一个进气口
出气口	一个出气口
售后服务	12个月质保（易耗件及人为损坏除外），终身保修